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硅基(Si)与薄膜铌酸锂(LN)定向耦合器的 Lumerical 复现

硅基(Si)与薄膜铌酸锂(LN)定向耦合器的 Lumerical 复现

1 引言

在集成光学中,把一束光按比例分成两路、或把两路光合为一路,是最基本也最频繁出现的操作。承担这一功能的核心器件之一,就是定向耦合器(Directional Coupler, DC)。当两条光波导平行靠近一段距离,光就会在两者之间周期性地来回转移。

本文分两部分展开:前半部分梳理工作机理,后半部分分别给出硅基与薄膜铌酸锂(LN)两个平台的复现过程与结果对比。

2 器件结构与工作机理

2.1 结构

定向耦合器由两条平行波导与中间的耦合区 (coupling region)构成,两波导的边缘间距记为g gg(gap),耦合区长度为L LL。耦合区之外,波导以 S 形弯曲迅速拉开,以抑制不需要的耦合。

图1 定向耦合光波导(图 2-4):两条波导在耦合区保持间距 g,区外以弯曲波导分离;下图为沿横向的折射率阶跃分布 n1 / n0 / n2

2.2 双本征模图像

耦合区内的电磁场并不属于"波导 1 的模式"或"波导 2 的模式",而是整个双波导体系的超模(supermodes)。由于结构关于中轴具有镜像对称性,本征模可按对称性分为两类:

  • 对称模(symmetric mode):E y E_yEy​在两根波导中同相,横向场分布呈"同号双瓣";
  • 反对称模(antisymmetric mode):E y E_yEy​在两根波导中反相,横向场分布呈"异号双瓣"。

图2 定向耦合器的两个基模(图 4.2):实部 Ey(上排)与电场强度 |E|²(下排)。

两个本征模的传播常数分别为

β 1 = 2 π n 1 λ , β 2 = 2 π n 2 λ \beta_1=\frac{2\pi n_1}{\lambda},\qquad \beta_2=\frac{2\pi n_2}{\lambda}β1​=λ2πn1​​,β2​=λ2πn2​​

其中n 1 n_1n1​、n 2 n_2n2​为两本征模的有效折射率。

当模式传输时, 场强在两个波导之间振荡, 如下图所示。 两个模以各自的相速度传播,相位差随距离累积;两个模式同相位时, 光功率集中在第一根波导中;当相位差达到π \piπ时,原本集中在波导 1 中的功率便完整地转移到波导 2 中。

图3 场沿定向耦合器传输(图 4.3):功率在两波导间的周期性转移

2.3 耦合长度

令相位差恰为π \piπ的长度即为耦合长度L π L_\piLπ​:

β 1 L π − β 2 L π = π \beta_1 L_\pi-\beta_2 L_\pi=\piβ1​Lπ​−β2​Lπ​=π

代入传播常数表达式,即得超模理论下的耦合长度计算式:

L π [ 2 π n 1 λ − 2 π n 2 λ ] = π ⟹ L π = λ 2 Δ n L_\pi\left[\frac{2\pi n_1}{\lambda}-\frac{2\pi n_2}{\lambda}\right]=\pi \quad\Longrightarrow\quad \boxed{\,L_\pi=\frac{\lambda}{2\Delta n}\,}Lπ​[λ2πn1​​−λ2πn2​​]=π⟹Lπ​=2Δnλ​​

其中Δ n = n 1 − n 2 \Delta n = n_1-n_2Δn=n1​−n2​为两超模的有效折射率差。这一表达式给出了明确的设计直觉:超模折射率差越小,耦合长度越长,即耦合越弱。

3 耦合系数的定量表达

场耦合系数κ \kappaκ定义为通过定向耦合器耦合的功率与输入端口功率比的开方:

κ = [ P Coupled P 0 ] 1 / 2 = ∣ sin ⁡ ( π Δ n λ ⋅ L ) ∣ = ∣ sin ⁡ ( π 2 ⋅ L L π ) ∣ \kappa=\left[\frac{P_{\text{Coupled}}}{P_0}\right]^{1/2} =\left|\sin\left(\frac{\pi\Delta n}{\lambda}\cdot L\right)\right| =\left|\sin\left(\frac{\pi}{2}\cdot\frac{L}{L_\pi}\right)\right|κ=[P0​PCoupled​​]1/2=​sin(λπΔn​⋅L)​=​sin(2π​⋅Lπ​L​)​

可见耦合功率随耦合区长度呈sin ⁡ 2 \sin^2sin2型周期振荡:L = L π L=L_\piL=Lπ​时功率完全转移,L = 2 L π L=2L_\piL=2Lπ​时又完全返回原波导。

图4 场耦合系数随耦合区长度的变化(图 4.6):耦合系数 κ² 与直通系数 t² 呈互补振荡

4 复现(一):硅基定向耦合器

参考文献:卢卡斯·赫罗斯托夫斯基 and 迈克尔·霍克伯格., [硅光子设计–从器件到系统(精)/光学与光子学丛书], 中国科技出版传媒股份有限公司 (2021).

4.1 算例参数

以《硅光子设计》提供的硅波导算例作为第一组复现对象,其结构参数与文献值明确、便于校准仿真流程。

参数取值
波导500 nm × 220 nm(90 nm 厚平板)
耦合间距g gg200 nm
工作波长λ \lambdaλ1550 nm
耦合长度L π L_\piLπ​(文献)15.1 μm
4.2 耦合长度与间距的关系

耦合间距g gg通过改变两波导中模场的重叠积分影响耦合强度。用波导模式求解器扫描g gg(100–1000 nm),得到交叉耦合长度L cross L_{\text{cross}}Lcross​随g gg的变化:

图5 文献结果(图 4.4):耦合长度 Lx 随耦合间距的变化,左为线性尺度、右为对数尺度

图6 【复现】Cross-over length 随 gap 的变化(线性尺度)

图7 【复现】Cross-over length 随 gap 的变化(对数尺度)

在g gg较小时(< 400 nm <400\ \text{nm}<400nm)耦合强、L cross L_{\text{cross}}Lcross​较小;随着g gg增大,L cross L_{\text{cross}}Lcross​迅速抬升并在对数坐标下呈现良好线性——即耦合长度随间距近似指数增长。复现曲线与文献趋势一致。

4.3 耦合系数随耦合区长度的变化

采用同一方法计算耦合系数随耦合区长度的变化,与文献(g = 200 nm g=200\ \text{nm}g=200nm,L π = 15.1 μ m L_\pi=15.1\ \mu mLπ​=15.1μm)对照:

图4 场耦合系数随耦合区长度的变化(图 4.6)

图8 【复现】 κ² 与 t² 随耦合区长度的变化

两组数据在L π = 15.1 μ m L_\pi=15.1\ \mu mLπ​=15.1μm处完全吻合,两条曲线互补振荡且极值达到 0 和 1,说明仿真结果可靠。

5 复现(二):薄膜铌酸锂定向耦合器

参考文献:喻盼盼. 基于薄膜铌酸锂的全绝热偏振旋转合束器的研究. 硕士学位论文, 2025.

5.1 器件参数
参数取值
芯层厚度300 nm
波导宽度w 1 = 1.6 μ m w_1 = 1.6\ \mu mw1​=1.6μm,w 2 w_2w2​依次取 1.6 / 1.65 / 1.7 μm
耦合间距g gg0.5 μm
工作波长λ \lambdaλ1550 nm
背景折射率2.2111

仿真流程:先用有限差分本征模算法(Finite Difference Eigenmode, FDE)求单波导模式分布与有效折射率,再用本征模扩展法(EME)扫描耦合区长度,提取各端口的归一化功率。

图9 EME 仿真建模:端口 1、2 为输入,端口 3、4 为输出;紫色区域为波导,竖直线为端口

5.2 理想耦合与非理想耦合

最大功率系数F FF:
F = ( k q ) 2 = 1 1 + ( Δ β κ ) 2 F = (\frac{k}{q})^2 = \frac{1}{1+(\frac{\Delta \beta}{\kappa})^2}F=(qk​)2=1+(κΔβ​)21​
传播常数差Δ β \Delta \betaΔβ,耦合系数κ \kappaκ。

当Δ β = 0 \Delta \beta = 0Δβ=0时(“理想耦合”),两波导模式传播常数相等,满足相位匹配条件。耦合效率F = 1 F=1F=1,此时波导 1 中的光功率可以100% 耦合进入波导 2 中,耦合系数κ \kappaκ仅影响耦合长度。

Δ β ≠ 0 \Delta \beta ≠ 0Δβ=0时(“非理想耦合”),此时为相位失配,在这种情况下,无论耦合系数κ \kappaκ多大,耦合效率F FF也不可能到 1。

图10 功率传输曲线(图 2-5):(a) 理想耦合——P₁、P₂ 为完整互补的 sin² 振荡;(b) 非理想耦合——振荡幅度被压缩,出现"不完全耦合"

5.3 单波导模式求解

对 LN 条形波导(厚度 300 nm)做 FDE 求解,三种宽度下 TE₀ 基模的有效折射率如下:

波导宽度w wwn eff n_{\text{eff}}neff​(仿真)n eff n_{\text{eff}}neff​(文献)
1.60 μm1.73031.7307
1.65 μm1.73291.7333
1.70 μm1.73531.7357


图11 【复现】FDE 求解结果,w = 1.6 μm:TE0 基模 n_eff = 1.730299,TE 偏振占比(Ey)为 100,模场为良好的单模分布

图12 【复现】FDE 求解结果,w = 1.7 μm:n_eff = 1.735250,模场仍保持单模

三组结果与文献值的最大偏差约4 × 10 − 4 4\times10^{-4}4×10−4(相对偏差约万分之二),说明所建立的模型与材料参数具有良好的一致性。

5.4 三组器件的功率传输曲线

固定w 1 = 1.6 μ m w_1=1.6\ \mu mw1​=1.6μm、g = 0.5 μ m g=0.5\ \mu mg=0.5μm,仅改变w 2 w_2w2​,得到三组归一化功率随耦合区长度的变化(横轴 0–1500 μm):

图13 【复现】理想耦合(w₁ = w₂ = 1.6 μm):端口 3、4 的功率完美互补振荡,极值分别触达到 1 和 0,周期约 600 μm,对应 Lπ ≈ 300 μm

图14 【复现】非理想耦合(w₁ = 1.6 μm,w₂ = 1.65 μm):振荡周期缩短至约 450 μm(Lπ ≈ 225 μm),耦合端口峰值降至 0.45 左右

图15 【复现】非理想耦合(w₁ = 1.6 μm,w₂ = 1.7 μm):周期进一步缩短至约 300 μm(Lπ ≈ 150 μm),耦合端口峰值仅约 0.17

三组曲线呈现出两条清晰的规律:失配越大,耦合长度越短,且耦合越不彻底。前者说明失配实际上增强了超模间的折射率差,后者则说明输入功率在两个超模上的分配比例失衡,无法在π \piπ相位差处完全相消。

参考资料

  1. 卢卡斯·赫罗斯托夫斯基, 迈克尔·霍克伯格. 硅光子设计——从器件到系统. 中国科技出版传媒股份有限公司, 2021.
  2. 喻盼盼. 基于薄膜铌酸锂的全绝热偏振旋转合束器的研究. 硕士学位论文, 2025.
  3. 本文仿真工具:Lumerical FDE / EME(Mode Solutions、FDTD Solutions)。

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#光电子#集成光学#光子集成#定向耦合器#Lumerical#光学仿真#铌酸锂#科研日常

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